Capteurs résonants M/NELS et phénomènes non linéaires

• Auteur :

  KACEM N., HENTZ S., BAGUET S., DUFOUR R.

• Auteur moral :

• Année de parution :

  2009

• Résumé :

  es importantes avancées dans la micro-fabrication des M/NEMS (Micro et Nano Electro-Mechanical Systems) de ces dernières années ont apporté des développe- ments conséquents dans la navigation, les télécommu- nications, les jeux vidéo, etc. Depuis le milieu des années 80, la majorité de ces systè- mes fonctionne grâce à des micro résonateurs qui sont utilisés comme capteurs [1]. Mais c’est dans les années 90, pour répondre aux besoins de système de communi- cation sans fil, que les résonateurs de type MEMS, dotés de grand facteur de qualité et de haute fréquence de fonctionnement ont été développés. Aujourd’hui ce sont les NEMS qui sont au cœur des recherches fondamen- tales et appliquées. En 2010 les capteurs résonants M/ NEMS de type accéléromètres et gyroscopes devraient représenter un marché de 2 500 M€ et de 800 M€ respectivement. En ce qui concerne en particulier les gyromètres MEMS, on distingue trois grands domaines applicatifs: le domaine automobile (environ 80% du marché avec plus de 25 millions d’unités vendues par an, pour principalement les GPS, la détection de roulis et l’ESP1), le domaine grand public (secteur d’applica- tion nécessitant des performances assez faibles mais avec des objectifs de coût très agressifs, encore réduit en terme de part de marché, mais c’est aussi celui qui présente avec le marché automobile le plus de potentiel de développement de croissance, pour les systèmes de stabilisation pour les scanners optiques, les appa- reils photos, les caméscopes, et très prochainement dans le marché très prometteur des jeux comme l’en- trée fulgurante de la console Nintendo WII), le domaine avionique/défense (les applications concernent princi- palement les UMI (unités de mesure inertielle) pour la navigation, la stabilisation de plates-formes, le guidage de missile), voir la figure 1.

• ISBN :

• Thématique(s) :

  Équipements, technologies et recherche

• Type de contenu :

  Article scientifique

• Mot(s) clé(s) :

• Langue :

  Français

• Disponible en prêt au CidB :

  Oui

• Réf. CidB :

  78/13215

• Lien de téléchargement :

  https://www.bruit.fr/revues/78_13215.PDF